特點：
l 采用三套獨立的電腦控制機械臂自動化作業；
l 采用第三代技術，全面完善的防酸防腐措施，保護到機器每一個角落。
l ***全自動補液技術。
l 獨特的硅片干燥前處理技術，保證硅片干燥不留任何水痕。
l 成熟的硅片干燥工藝，多種先進技術集于一身。
l 彩色大屏幕人機界面操作，方便參數設置及多工藝方式轉換。

主要應用：

半導體硅片、太陽能電池硅片、晶體、電阻、電容、PCB板、IC芯片、接插件、連接件、轉接器、硅片、三極管、二極管、電子線路板、電腦主板、壓電陶瓷基片、顯象管、電真空器件等電子器件的生產加工過程工序間的清洗