鎂伽MRS-ST系列激光切割機是基于內聚焦技術的激光精密加工設備，應用于第三代半導體碳化硅(SiC)晶圓的切割。產品基于鎂伽InteVega框架及視覺技術平臺研發，包含自動輪廓識別、自動水平校正、自動設置基準點、自動調焦等功能。整機設計為一鍵式啟動，自動讀取條碼調檔，全自動加工設備，并集成生產信息統計、稼動率統計以及數據上拋等晶圓產線規范要求的多種功能。