碳化硅單晶生長爐主要應(yīng)用于生長6英寸N型及半絕緣碳化硅單晶襯底。碳化硅單晶具有高熱導(dǎo)率、高化學(xué)穩(wěn)定性、低熱膨脹、高飽和電子漂移率等優(yōu)點，在白光高效照明、電力輸送與轉(zhuǎn)換、耐高溫電力電子器件等民用領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，同時在雷達通訊、航空母艦、艦舶等軍事領(lǐng)域可提高軍事電子系統(tǒng)和武器裝備的性能，有著明確應(yīng)用背景。