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      >等離子增加化學氣相沉積系統

      等離子增加化學氣相沉積系統

      BTF-1200C-SL-A

      直接聯系

      安徽貝意克設備技術有限公司

      安徽合肥

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      貝意克

      型號:

      BTF-1200C-SL-A

      關注度:

      1882

      產品介紹

      一、設備簡介

      BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統。本設備集真空系統、供氣流量系統、自動推進、加熱于一體,并將所有控制集成于觸屏操控界面之中,使設備更加智能化,便于使用者操作。溫度范圍寬:100-1200度可調,加熱區域長度:1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,連續生長各種薄膜等。


      二、技術參數

      功率

      3KW

      額定電壓

      AC 220V  50/60HZ

      **溫度

      1200℃

      工作溫度

      1100℃

      推薦升溫速率

      10℃/min

      空開大?。ㄗ詡洌?/span>

      2P 40A

      爐管尺寸

      高純石英管Φ100*1400mm

      **滑動距離

      880mm

      控溫方式

      模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制

      控溫精度

      ±1℃

      加熱元件

      電阻絲

      熱電偶

      K型

      質量流量計

      兩路500sccm+5000sccm

      機械泵

      10m3/h

      設備凈重

      約230Kg


      產品咨詢

      等離子增加化學氣相沉積系統

      BTF-1200C-SL-A

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