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等離子體增強回轉PECVD系統

BTF-1200C-S-R-PECVD

直接聯系

安徽貝意克設備技術有限公司

安徽

產品規格型號

參考報價：

面議

品牌：

貝意克

型號：

BTF-1200C-S-R-PECVD

關注度：

3130

產品介紹

一、主要特點

我司研制的回轉PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象

該款設備選用特殊形狀(兩頭細中間粗)的石英管作為化學氣相沉積的反應室;加熱的同時爐管可360度旋轉，管內壁有石英擋片幫助粉體材料翻炒有助于燒結得更均勻;而且爐體可左右大角度傾斜，方便進出料，傾斜角度在0~35°可調。

此款設備現廣泛應用于低溫石墨烯制備實驗、粉體材料碳包覆實驗。

二、技術參數

加熱爐
使用溫度	≤1200℃
加熱區長度	440mm
恒溫區長度	200mm
加熱元件	電阻絲（摻鉬鐵鉻鋁合金）
控溫精度	±1℃
控溫方式	7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
爐管尺寸	Φ60420mm+Φ100360mm+Φ60*420mm
爐管轉速	3~13r/min
傾斜角度	0~35°
PE源
信號頻率	13.56MHz±0.005%
功率輸出范圍	0-500W
射頻輸出接口	50Ω，N-type，female
功率穩定性	≤5W
氣路系統
供氣系統	高精度質量流量計（量程可選）
準確度	±1.5%
響應精度	±0.2%
響應時間	氣特性：1~4sec，電特性：10sec
工作壓差范圍	0.1~0.5MPa
壓力	≤3MPa
連接頭類型	Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭
真空系統
真空系統	采用KF25系列波紋管和手動擋板閥
	真空度可達10^-1Pa
	數顯真空測試儀可直觀的顯示數值

產品咨詢

等離子體增強回轉PECVD系統

BTF-1200C-S-R-PECVD

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