雙溫區硫化爐 

型號：HCVD-1200S

技術參數：

額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

**溫度(℃):1200（1 hour）

持續工作溫度(℃）：1100

升溫速率（℃/min）：≤50

爐管尺寸（mm）：

高純石英管Φ50×1500mm

加熱區長度（mm）：440mm

恒溫區長度（mm）:200mm  

控溫方式:模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲

供氣系統GMF3Z

質量流量計

重量：35Kg

外形尺寸：600x600x650mm

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

標準量程（N₂標定)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根據用戶要求定制）

準確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復精度：±0.2%

響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

**壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數字顯示

工作環境溫度:5~45高純氣體             

內外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥：Φ6

低真空機組VAU-02

技術參數：

空氣相對濕度≤85%，

工作電電壓：220V±10%  50~60HZ 

功率：1千瓦

抽氣速率：4L\s

極限真空：4X10-2Pa

實驗真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

進氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸:450×180×240mm

配真空粉塵過濾器，DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力，INFICON PCG554復合真空計