籽晶驅(qū)動單位
提升速度： 0-20 in / hr(0-508mm/hr)
轉(zhuǎn)速： 0-50 rpm

廠務要求
電源電壓：380 V±10%
頻率：50 Hz
加熱功率：250 KW預留雙加熱器
環(huán)境溫度：5~40
相對濕度：＜70%
入口端**水溫：25℃
*小流量：350 L/min
入口出口壓力差：＞1.5kg/cm2
主氬氣流量：200 slpm
吹掃流量：100 slpm
合計：300 slpm
推薦壓力：＞4.5 kg/cm2 
壓縮空氣
推薦壓力：＞5.5 kg/cm2

控制系統(tǒng)
全自動生長控制過程
標準PLC/PC控制

選項Options  
多晶硅進料系統(tǒng)
真空泵
真空過濾系統(tǒng)
取晶車 
坩堝裝卸系統(tǒng)