一、設(shè)備組成

這是一款智能型PECVD系統(tǒng)。該設(shè)備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動(dòng)化控制軟件集成系統(tǒng)。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，6點(diǎn)控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可電動(dòng)開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。

2、氣路系統(tǒng)

   可由質(zhì)量流量計(jì)精確控制多路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，另外單獨(dú)1路過(guò)鼓泡器后進(jìn)入反應(yīng)管內(nèi)。

3、射頻組件

    1000W高性能射頻輝光均勻，可使整個(gè)反應(yīng)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)。

4、 智能控制系統(tǒng)          

    采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

二、技術(shù)參數(shù)