一、設備組成

此款定制智能型連續進出料CVD設備包含主要由七大部分，進料腔，大口徑管式爐、出料腔、推拉機構、供氣系統、真空系統、以及自動化控制軟件組成。

1、進料腔：

進料腔密封腔體采用石英管，兩端采用橫向法蘭密封；進料腔左側法蘭上配有一個φ16mm的推料桿，可以實現真空或惰性氣體保護下推送載具進入高溫爐內；進料腔右側法蘭通過氣動插板閥與高溫爐鏈接和隔斷，可以實現進料腔和高溫管式爐相互獨立工作，互不干擾。

2、高溫生長爐：

大口徑管式爐采用優質電阻絲加熱，**使用溫度可達1100℃，加熱區長度為300+300+300mm，采用3段控溫且每段上下兩點控溫的方式，可有效提高溫差均勻性；同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經驗的要求。

3、出料腔：

出料腔密封腔體采用石英管，兩端采用橫向法蘭密封，出料腔右側法蘭上配有一個φ16mm的拉料桿，可以實現真空或惰性氣體保護下從高溫爐內將載具拉入出料腔內降溫冷卻；出料腔左側法蘭通過氣動插板閥與高溫爐鏈接和隔斷，可以實現出料腔和高溫管式爐相互獨立工作，互不干擾。

4、推拉機構：

進料腔左側密封法蘭上配有推料桿及軌道；出料腔右側密封法蘭上配有拉料桿及軌道；可以實現真空或惰性氣體保護下將載具推送進高溫爐或將載具拉離高溫爐。

5、供氣系統：

供氣系統包含3部分，進料腔配備1路質量流量計惰性氣體供氣裝置，高溫生長爐配備1路質量流量計惰性氣體混氣裝置，出料腔配備1路質量流量計惰性氣體供氣裝置；共計5路質量流量計。

6、真空系統：

進料腔配備1套機械泵（機械泵抽速16m³/h、型號DRV-16），高溫生長爐1套機械泵（機械泵抽速24m³/h、型號DRV-24），出料腔配備1套機械泵（機械泵抽速16m³/h、型號DRV-16），以及真空計、手動擋板閥、波紋管等連接件共計3套。

7、觸摸屏控制系統：

采用觸摸屏自動控制，參數設置和操作直觀方便，參數自動記錄保持，一鍵操作。

二、技術參數