一、設(shè)備組成

這是一款組合管式CVD設(shè)備。該設(shè)備主要由多路供氣系統(tǒng)、三溫區(qū)加熱爐、低真空系統(tǒng)、以及智能控壓組件組成。

1、開(kāi)啟式加熱爐：

三溫區(qū)加熱爐使用輕質(zhì)氧化鋁纖維材質(zhì)，K型熱電偶測(cè)溫搭配優(yōu)質(zhì)電阻絲為加熱原件，內(nèi)部溫場(chǎng)均勻。

2、多路供氣系統(tǒng)

質(zhì)量流量計(jì)可按照程序設(shè)定，對(duì)多路氣體進(jìn)行單獨(dú)或者混合。操作方便，控制精確。

3、智能控壓組件

通過(guò)真空計(jì)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)管內(nèi)壓力，PLC根據(jù)設(shè)定壓力大小調(diào)節(jié)閥開(kāi)啟大小，以控制管內(nèi)壓力穩(wěn)定。

4、低真空系統(tǒng)

配備進(jìn)口機(jī)械泵，進(jìn)口真空計(jì)，質(zhì)量可靠。

二、技術(shù)參數(shù)