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      >小型三溫區PECVD設備
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      小型三溫區PECVD設備
      
				
      BTF-1200C-III-S-PECVD
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
      直接聯系
      
					
      安徽貝意克設備技術有限公司
      
										
      安徽合肥
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產品規格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      貝意克
      	
      型號：
      BTF-1200C-III-S-PECVD
      	
      關注度：
      1988
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					
      這是一款定制組合式PECVD設備。該設備主要由加熱爐、射頻組件、氣路柜組成。
      1、開啟式加熱爐
      加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，3點控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應管。
      2、射頻組件
      500W射頻機組，可以使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效。
      3、氣路柜組件
      可控制多種氣體按照不同流量進行混合配比，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭組成，外形美觀，操作簡便，數據直觀可讀。

      加熱總功率
      ≤7KW
      額定電壓
      220V
      **溫度
      1200℃
      工作溫度
      ≦1100℃
      升溫速率
      ≦10℃/min
      加熱元件
      電阻絲
      加熱區長度
      200+200+200mm
      熱電偶
      K型熱電偶
      控溫方式
      模糊PID控制和自動整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
      控溫精度
      ±1℃
      設備尺寸
      2700x600x1250mm
      設備重量
      約180KG

      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      小型三溫區PECVD設備
      
						
      BTF-1200C-III-S-PECVD
      
						 					
      
				
      
				
      
					
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      小型三溫區PECVD設備 - 1988
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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