一、 設(shè)備名稱、型號(hào)：HWF6630-10型罐式氣相沉積爐

二、 技術(shù)指標(biāo)與基本配置

2.1 額定溫度：750℃；

2.2 **溫度：1000℃；

2.3 加熱區(qū)尺寸：Φ660×300mm（D×H）；

2.4 腔體材質(zhì)：SUS310S；

2.5 **加熱功率：16kW；

2.6 加熱方式：底部+四周；

2.7 控溫點(diǎn)數(shù)：底部+側(cè)面，共2點(diǎn)；

2.8 熱偶類型：K分度；

2.9 升溫速率：≤6℃/min；

2.10 加熱元件：FEC陶瓷纖維加熱器；

2.11 爐門開啟方式：頂開門設(shè)計(jì)；

2.12 控溫穩(wěn)定度：±1℃；

2.13 控溫儀表：進(jìn)口溫控模塊，具有PID自整定功能；

2.14 程序步數(shù)：20步；

2.15 報(bào)警保護(hù)：超溫、斷偶等聲光報(bào)警保護(hù)，并具有超溫報(bào)警斷電保護(hù)功能；

2.16 表面溫升：＜35℃；

2.17 設(shè)備重量：約750kg；

2.18 外形參考尺寸：1185×1745×1780mm（W×D×H），實(shí)際尺寸以*終產(chǎn)品為準(zhǔn)；

2.19 設(shè)備外顏色：淺灰色。

三、 設(shè)備正常運(yùn)行條件

1、 環(huán)境條件：溫度0～40℃，濕度≤80％RH，無腐蝕性氣體，無強(qiáng)烈氣流擾動(dòng)；

2、 地面要求：水平、無明顯震動(dòng)，承重＞500Kg/m2；

3、 動(dòng)力條件：容量大于22kVA，3相5線，電壓220/380V，頻率50Hz?；鹁€：黃色、綠色、紅色，零線：藍(lán)色，地線：黃綠色；

4、 安裝場(chǎng)地：1500mm×1500mm×3000mm（D×W×H），安裝面積大于2.5m²。