一、 設備名稱、型號：HWF6630-10型罐式氣相沉積爐

二、 技術指標與基本配置

2.1 額定溫度：750℃；

2.2 **溫度：1000℃；

2.3 加熱區尺寸：Φ660×300mm（D×H）；

2.4 腔體材質：SUS310S；

2.5 **加熱功率：16kW；

2.6 加熱方式：底部+四周；

2.7 控溫點數：底部+側面，共2點；

2.8 熱偶類型：K分度；

2.9 升溫速率：≤6℃/min；

2.10 加熱元件：FEC陶瓷纖維加熱器；

2.11 爐門開啟方式：頂開門設計；

2.12 控溫穩定度：±1℃；

2.13 控溫儀表：進口溫控模塊，具有PID自整定功能；

2.14 程序步數：20步；

2.15 報警保護：超溫、斷偶等聲光報警保護，并具有超溫報警斷電保護功能；

2.16 表面溫升：＜35℃；

2.17 設備重量：約750kg；

2.18 外形參考尺寸：1185×1745×1780mm（W×D×H），實際尺寸以*終產品為準；

2.19 設備外顏色：淺灰色。

三、 設備正常運行條件

1、 環境條件：溫度0～40℃，濕度≤80％RH，無腐蝕性氣體，無強烈氣流擾動；

2、 地面要求：水平、無明顯震動，承重＞500Kg/m2；

3、 動力條件：容量大于22kVA，3相5線，電壓220/380V，頻率50Hz。火線：黃色、綠色、紅色，零線：藍色，地線：黃綠色；

4、 安裝場地：1500mm×1500mm×3000mm（D×W×H），安裝面積大于2.5m²。