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      >1200℃三溫區三通道混氣CVD系統

      1200℃三溫區三通道混氣CVD系統

      OTF-1200X-80-III-F3LV

      直接聯系

      合肥科晶材料技術有限公司

      安徽

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      科晶

      型號:

      OTF-1200X-80-III-F3LV

      關注度:

      4499

      范圍(量程或細度):

      --

      產品介紹

      1200℃三溫區三通道混氣CVD系統

      • 型號:

      • OTF-1200X-80-III-F3LV

      • 產品概述:

      • OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統組成,其真空度可達到 10-2 torr。

      殼體結構

      · 雙層殼體結構并帶有風冷,使得殼體的表面溫度小于60

      · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環保節能

      · 內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

      可開啟式,更換爐管方便

      功率

      5 KW

      電壓

      AC 208-240V單相, 50/60 Hz

      加熱元件

      Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

      **工作溫度

      1200℃

      連續工作溫度

      1100℃

      **加熱速率

       ≤20  ℃/min

      石英管& 密封法蘭

      · 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內

      · 儀器上已經安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門(點擊下面的圖片查看詳細的信息)

      · 

      加熱區長度

      · 三個溫區長度: (880mm, 35" in total)

      · 溫區 1: 220mm  (8.6" )  

      · 溫區 2: 440mm  (17.3")

      溫區 3: 220 mm (8.6") 注:由于測量手段及外部環境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據,請與我公司銷售人員聯系

      溫控系統


      · 三個精密溫度控制器,可獨立控溫

      · PID控制方式,通過PWM固體繼電器。

      · 30段可編程智能溫度調節儀,并可設置30段升降溫程序.

      · 帶有過熱和斷偶保護功能

      控溫儀表操作視頻

      控溫精度

      +/- 1℃


      真空密封系統

      · 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥).

      · 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵,真空度可以達到10-4 torr.

      · 漏氣率 < 5 m-torr / min

      · 

      真空泵

      采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的*小微粒直徑為0.3微米
           

      數字式真空顯示計

      可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換
           

      氣體流量計和壓力表

      · 三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流          

      · 三路浮子量程分別為

      · 10-100 cc/min.

      · 16-160 cc/min.

      · 25-250 cc/min

      · 內部安裝有一混氣罐

      有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統側面上,可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力

      閥門

      四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統側面上,用于控制氣體的流量

      外形尺寸

      · 爐子: 1100 X 450 x 670mm

      底部移動架: 600x600x597mm

      開門斷電

      為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計
            
       

      凈重

       90 Kg

      運輸重量

      245 lbs

      質保期

      一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

      質量認證

       CE certified

      使用注意事項

      · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

      · 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

      · 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

      · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

      · 石英管的長時間使用溫度<1100℃

      對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


      產品咨詢

      1200℃三溫區三通道混氣CVD系統

      OTF-1200X-80-III-F3LV

      合肥科晶材料技術有限公司

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