設備用途:

靜電卡盤燒結

設備規格:

有效溫區尺寸:500x800mm

加熱器:鎢板式壓雙筋加熱器(上中下全方位)上下為鎢網發熱體隔熱屏材料:W+Mo復合屏

承載重量:2300KG(不含料架500kg)

**溫度:2000℃C

工作溫度:1850℃C

溫度均勻性:±5℃℃(1500℃測溫環測試)

升溫速率:0~20°C/min(可調)

控溫精度:±1°℃

熱電偶:4組鎧裝鎢錸熱電偶極限真空度:<10Pa，真空泵和爐體之間裝有過濾裝置20Min達到10Pa以下

壓升率:<5 Pa/h

空爐抽空時間:至工作真空度≤20min工藝氣氛:氮氣/氫氣/濕氫(三質量流量計)，**流量控制6m3/h爐內壓力:壓力0.03Mpa(微正壓)加熱功率:270KVA(峰值)

出料方式:下出料+水平行走

冷卻水壓力:爐體等冷卻系統進水壓力0.2~0.3Mpa，回水壓差<0.1mpa