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      腔體合成爐

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      直接聯系

      沈陽中科漢達科技有限公司

      遼寧

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      中科漢達

      型號:

      腔體合成爐

      關注度:

      943

      產品介紹

      適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長,采用中頻感應電源加熱方式,上取放料、坩堝軸快慢速移動。

      技術參數

      生長工藝

      PVT

      生長尺寸

      6-8英寸

      產品類型

      非標定制

      加熱方式

      感應加熱(中頻感應加熱)

      **溫度

      2400℃

      系統停泵關機12小時后真空度

      ≤5Pa

      控制方式

      PLC集成控制

      系統極限真空度

      ≤7×10-5 Pa (經烘烤除氣后)

      系統真空檢漏漏率

      ≤5.0×10-7 Pa.l/S

      冷卻方式

      循環水路系統

      適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長,采用中頻感應電源加熱方式,上取放料、坩堝軸快慢速移動。內壁氬弧焊接,內表面鏡面拋光,反射熱量,減少功率損耗,減少氣體附著。自主研發控制系統,實現自動化穩定、安全、操作便捷。適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長,采用中頻感應電源加熱方式,上取放料、坩堝軸快慢速移動。內壁氬弧焊接,內表面鏡面拋光,反射熱量,減少功率損耗,減少氣體附著。自主研發控制系統,實現自動化穩定、安全、操作便捷。

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