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      磷化銦多晶合成爐

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      直接聯系

      青島育豪微電子設備有限公司

      山東

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      育豪微電子

      型號:

      磷化銦多晶合成爐

      關注度:

      838

      產品介紹

      設備性能指標

      1

      操作方式

      手動

      2

      管路數

      1管

      3

      加工晶圓尺寸

      4-6寸

      4

      適用工藝

      多晶合成

      5

      工藝溫度范圍

      800-1250℃

      6

      恒溫區長度

      300-800mm

      7

      控溫精度

      ±0.2℃/>1280℃恒溫區內

      8

      單點溫度穩定性

      ±0.2℃

      9

      溫度校準功能

      具有預先寫入偏差值快速拉溫區功能


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      磷化銦多晶合成爐

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