技術(shù)參數(shù)：

􀂾 真空泵連接真空室，控制單元提供電壓。

􀂾 主機(jī)的真空室含有金－鈀合金靶，玻璃罩樣品底座。

􀂾 "O"型密封封閉真空系統(tǒng).

􀂾 頂部的陰極和磁偏轉(zhuǎn)體統(tǒng)連成一體。

􀂾 噴金儀上的工作電壓固定，電流可調(diào).

􀂾 儀器底座面積：20cmX35cmX34cm，重量14 kg。

􀂾 其他可選的靶材: 鉑，Pt－Pd，Au。（客戶需另外購買

主要特點(diǎn)：

MSP－1S 噴金儀主要是為鎢燈絲掃描電子顯微鏡的樣品制備而設(shè)計(jì)的專用噴金儀.

其主要部件包括:

􀂾 樣品室

􀂾 真空系統(tǒng)

􀂾 噴金及控制系統(tǒng)