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      Fischione微束定點離子減薄系統1040

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      技術特色:

      獨有聚焦微束惰性氣體離子束
      低修復電壓:50 eV
      聚焦束斑直徑:1μm
      定位精度高,去除非晶層且不產生再沉積現象
      采用氬離子束激發二次電子成像同時實現修復及定位
      離子束可以對準定點位置或在一個選定的區域進行進行精細修復
      配備液氮冷臺,去除熱損傷

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      Fischione微束定點離子減薄系統1040

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