儀器簡介：

一種能自動實時測量擴散結深的光學測量系統(tǒng).該系統(tǒng)是對磨槽機在硅片上的磨槽進行測量來獲得擴散結深數(shù)據(jù)的.

技術參數(shù)：

1，測量方式

實時影像測量，無須拍照后測量

2，測量模式

自動測量，無須鼠標取點或取邊

3，統(tǒng)計功能

**值、*小值、平均值、極差、方差、標準差、離散系數(shù)等；同時處理多個管制項目；實時顯示統(tǒng)計數(shù)據(jù)，并可以根據(jù)用戶要求增加統(tǒng)計項目

報表系統(tǒng) 采用智能化選擇性數(shù)據(jù)輸出技術，實現(xiàn)“待測工件→測量參數(shù)→專用報告→品管統(tǒng)計”數(shù)據(jù)流自動化

主要特點：

快速，實時，精確，可靠