當今高精電子束設備對環(huán)境磁場及其動態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場使電子束產生偏移，從而導致設備分辨率和測量精度的減低。SC22系統(tǒng)是一種三維空間內的交流磁場補償系統(tǒng)，通過傳感器感知空間環(huán)境中交流磁場及其變化量，控制器通過三維空間線圈來提供反磁場，抵消環(huán)境磁場給電子束設備帶來的影響，恢復應有的分辨率和精度。

SC22特點及技術參數(shù)如下：

通過穩(wěn)定磁場環(huán)境確保您購置的電子束科技設備應有性能

消除和監(jiān)測交流磁場

低成本高性能系統(tǒng)

智能用戶界面

自動運行，連續(xù)實時補償磁場

交流磁場可消除范圍：0.5 Hz to 5 kHz；市電60 Hz的交流背景磁場可被改善50倍

完整的X， Y， Z三軸消磁系統(tǒng)

可消除場強高達60 mG (6.0 μT) pk-pk

磁場躍變響應速度：100 μs以內

高靈敏度傳感器，可精確反饋環(huán)境磁場變化；支持雙傳感器，用于抵消TEM透射電鏡和高突變環(huán)境磁場

USB監(jiān)控端口