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      >CFD系列精細流量調節的化學液補充系統

      品牌展臺: 易威奇有限公司
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      CFD系列精細流量調節的化學液補充系統

      CFD系列精細流量調節的化學液補充系統

      直接聯系

      易威奇有限公司

      廣東

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      易威奇

      型號:

      CFD系列精細流量調節的化學液補充系統

      關注度:

      880

      產品介紹

      高分辨率

      *小流量達1mL/shot,為晶圓清洗過程中所需的化學凝結控制,提供更高的準確性。

      CFD系列能提供準確流量,防止過量添加或液體浪費。此外,防虹吸設計防止意外吸入。

      耐腐蝕過流端

      氟材質口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導體加工所用的強酸、強堿和雙氧水。

      針對化學腐蝕,PTFE / PFA / PP / PVC材質外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護。

      寬廣的吐出率調節

      打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調節沖程長度 (出廠默認設定是1.0ml/shot)。

      配備泄漏傳感器

      每臺泵都配有泄漏傳感器,可實時檢測任何泄漏情況。

      **吐出量

      1 mL/shot

      **吐出壓力

      0.05 MPa

      **沖程率

      30 spm

      主要材質

      PTFE, PFA, PCTFE

      液體輸送溫度范圍

      20 ~ 60 °C


      產品咨詢

      CFD系列精細流量調節的化學液補充系統

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