氣體凈化系統

氣體凈化系統應用于維持高氣密性箱體內的高純惰性氣體環境，除手套箱凈化外，還可以應用于類似的密閉系統。

EP系列氣體凈化系統有多個型號的凈化柱及循環風機供選擇或者采用多組凈化系統的疊加使用。

EUP系列凈化系統為滿足容積超過50立方米以上密閉空間的迅速凈化，滿足3D打印、OLED等行業超大凈化空間的需求。

主要特點：

*真空密封的循環系統 *密閉循環 *凈化能力H₂O<1PPM，O₂<1PPM

*PLC自動控制 *觸摸屏操作 *高可靠性 *靈活的配置組合

高純供氣系統

艾明坷公司高純供氣系統主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發生器等的高純連續供氣，應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣，也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體，更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。

氣體凈化系統根據采用常溫或則高溫吸附劑，電化學拋光316L不銹鋼管件，出氣口配置微米過濾器，其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1PPM的世界**。

氣體配比儀采用高精度質量流量計，電化學拋光316L不銹鋼管件，雙卡套或則VCR氣體接頭。