德國(guó)Diener研究型等離子清洗機(jī)Bell Jar 35

Bell Jar 35 等離子設(shè)備是一種研究設(shè)備，其專(zhuān)為科學(xué)試驗(yàn)所研發(fā)。該設(shè)備即適用于熱蒸發(fā)，濺射 ，電子束蒸發(fā)，SEM（掃描電子顯微鏡）樣品制備的金屬涂層，也適用于傳統(tǒng)的等離子體工藝。

基本設(shè)備

。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm

。腔室容積：約35升

。供電電源：230V/16A

氣源

。3個(gè)質(zhì)量流量控制器（MFCs）

真空腔室

。硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩，直徑315MMx高500MM

濺射源

。1個(gè)濺射源2"-3"+擋板（可為反應(yīng)過(guò)程選配排煙管和進(jìn)氣口）

基材支架

。直徑140MM（可選擇旋轉(zhuǎn)型，基材加熱器，基材冷卻裝置）

。可切換為等離子預(yù)處現(xiàn)的電極（清洗，活化，蝕刻）

控制系統(tǒng)

。PCCE控制系統(tǒng)（Microsoft Windows XPe）

壓力測(cè)量

。Pirani

發(fā)生器

。頻率：40KHz， 功率 0-500W

13.56MHz， 功率 0-300W

。直流偏置電源或單極性脈沖，**功率300W，**電壓600V，直流電

。發(fā)生器為 0-100% 無(wú)級(jí)可調(diào)型

真空泵

。規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過(guò)濾器的需要）

其它選項(xiàng)

備件套件，壓力計(jì)，腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，氣瓶，減壓器，加熱板，溫度顯示器，加熱型腔室，F(xiàn)araday Box， 等離子體聚合配件，試墨水，氧氣發(fā)生器，慢速通風(fēng)裝置，慢速抽吸裝置，TEM樣品架法蘭，維護(hù)/服務(wù)，當(dāng)?shù)卣Z(yǔ)言的文件，現(xiàn)場(chǎng)安裝，包括培訓(xùn)，可應(yīng)需求提供的其它選項(xiàng)。