小型桌上型高頻等離子表面處理裝置

■ 操作性·功能

● 射頻13.56Mhz 0-300W高功率機型，發生器自動匹配，無需調節反射波，進一步增加的操作的便捷性。

● 標準配備數字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。

● 平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。

■ 安全性·保護

● 裝載有溫度、壓力、等離子發生器異常等三層報警燈，可實時監測和了解機器的運轉狀態。

● 裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。

■ 產品優勢

●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。

●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。

●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。

●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。

●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。

■ 規格