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      制樣/消解設備
      
				
      >YAMATO雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      YAMATO雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS
      
				
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
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      產品介紹
      
			
      
				
      
					
      13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP雙模式
      使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式 高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應 多種用途。
      特征
      ●  可變更電極構造提高等離子效果。
      ●  搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
      ●  可根據需求規格提供定制。
      用途
      ●  硅晶圓的灰化及蝕刻
      ●  基板表面污垢處理
      ●  IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
      ●  半導體相關部品的電子材料的干式清洗
      ●  自然氧化膜·有機物去除
      ●  界面活性處理
      ●  表面污染物去除
      內槽
      規格
      型號V1000V1000XV1000XS
      等離子模式DP/RIE
      高頻電源13.56MHz
      輸出功率Max1000WMax1000 & 1500W
      有效電極尺寸W280×D280mmW300×D300mmW400×D375mm
      電極平行平板2段電極（獨立）平板（多目的）
      反應氣體聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝）
      真空泵（標配）約1000L/min約1500L/min1000 & 1500L/min
      安全裝置門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等
      管路連接圖
      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      YAMATO雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS
      
						
      
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      YAMATO雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS - 1189
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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