德國SPS-EUROPE勻膠機

品概述

德國SPS-EUROPE公司勻膠機具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，啟動快速，涂膠一致性和均勻性好等特點，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆。

工作原理

勻膠機（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

獨有特征

u 可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器，可拆卸，耐化學(xué)試劑腐蝕。速度、加速和時間可編程；無限量程序存儲空間，可存儲旋涂多步驟工作協(xié)議，具有協(xié)議密保功能。

u 可編程轉(zhuǎn)速范圍: 1rpm-12，000rpm，轉(zhuǎn)速參數(shù)設(shè)置范圍廣，高精確性旋轉(zhuǎn)速度 (± 0.1 rpm)。

u 數(shù)字電機控制，帶增速數(shù)字顯示信號反饋，以避免轉(zhuǎn)速過量，從而提升涂膜的品質(zhì)。

u 防靜電PET透明襯套，杜絕工作倉室的交叉污染。

u 一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計，殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)，傳動系統(tǒng)采用工程塑料材質(zhì)，壽命長耐腐蝕。

u 采用經(jīng)過熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動將蓋子固定在理想位置，玻璃蓋上帶注射器固定架和氮氣擴散器，注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學(xué)試劑，氮氣擴散器在旋涂過程可注入到工作艙氮氣/氬氣，工作艙環(huán)境可控。

u 安全互鎖裝置：工作艙蓋鎖止，艙蓋打開旋轉(zhuǎn)自動停止，真空不足或沒有真空旋轉(zhuǎn)自動停止，過載保護。

u USB端口：可上傳和下載旋涂協(xié)議和軟件。

u 三個外接控制端口，可用于接入注入單元自動控制，氮氣擴散器控制等。

u 產(chǎn)品通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)