適用晶片

4 inch、6 inch

拋光機下盤

尺寸

Φ872mm

材質

不銹鋼盤&拋光墊

電機功率

7kw

轉速范圍

5～200rpm

*小轉速控制量

1rpm（觸摸屏中設定）

冷卻

水冷式冰水機（8P）

盤溫控制

0℃～50℃

修盤方式

人工調節，伺服自動修盤

拋光機上盤

控制方式

2軸獨立控制，自動停止加工

拋頭材質

SUS410（可按客戶要求定做）

加壓氣缸

Φ100mm

壓力范圍

0～500kg

控制精度

±1kgf（觸摸屏中設定）

電機功率

0.75kw

轉速范圍

5～200rpm

*小轉速控制量

1rpm（觸摸屏中設定）

拋光液供應系統

供給方法

循環泵（流量可以調節并實時監控）

拋光液灌容量

20L（冷卻、攪拌）

供液位置

中心供液

補液方式

人工補液

陶瓷盤固定

半自動上料裝置，陶瓷盤定位載具

去除率

具體視工藝及材料而定

設備尺寸

W2200mm * L2250mm * H2100mm

設備重量

約5000Kg