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      >Semiconsoft MProbe薄膜測厚儀

      Semiconsoft MProbe薄膜測厚儀

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      廣州市固潤光電科技有限公司

      美國

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      Semiconsoft MProbe薄膜測厚儀

      M p r o b e 讓 你 成 為 測 量 專 家 !

      大部分半透明的或具有輕微吸收性的薄膜能夠被快速、可靠的測量:

      氧化物、氮化物、感光耐蝕膜、聚合物、半導體(Si, aSi,polySi)、半導體化合物(AlGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS)、硬涂層(SiC, DLC), 聚合物涂料 (Paralene, 聚甲基丙烯酸甲酯, 聚酰胺), 薄金屬薄膜等。

      厚度范圍: 1 nm-1 mm

      波長范圍: 200nm -5000nm

      在薄膜太陽能電池中的應用:

      aSi, TCO, CIGS, CdS, CdTe-全太陽能堆棧測量

      LCD, FPD應用:

      ITO, 細胞間隙,聚酰胺。

      光學涂層:

      介質濾波器,硬涂層,防反射涂層半導體和電解質: 氧化物,氮化物, OLED堆。

      實時測量和分析。各種多層次的, 高強度的,厚的, 獨立和不均勻的層 。

      豐富的材料庫 (500多種材料) – 新材料容易增添。

      支持參數化材料:

      Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA 等?

      使用靈活:

      可聯網在操作臺桌面或現場進行研究與開發。用TCP或Modbus接口能容易的和外部系統連接。

      測量參數:

      厚度、光學常數、表面粗糙度。

      界面友好強大:

      測量和分析設置簡單。背景和縮放修正,連接層和材料。

      離線數據分析:

      仿真和靈敏度分析,多樣品測量,生產批量處理。

      MProbe系統示意圖

      精度0.01nm or 0.01%
      精確度0.2% or 1 nm
      穩定性0.02nm or 0.03%
      光斑尺寸標準為 3mm , 可以小到 3μm
      樣本大小從 1mm 起

      主要參數

      模型波長范圍光譜儀探測器/檢測器/光源厚度范圍 *
      VIS 400-1100 nm分光儀 F4/Si 3600像素點/

      鎢-鹵素光源

      15 nm to 20 mm

      (option:up to 50 mm)

      UVVisSR200-1100 nm分光儀 F4/ Si CCD 3600

      像素點/氘-鎢鹵組合式光源

      3 nm to 20 mm

      (option:up to 50 mm)

      HRVIS700-1000 nmHR分光儀F4/Si 3600 像素點/

      鎢-鹵素光源

      1 mm to 400 mm
      NIR900-1700nm傳輸光譜儀(TVG)

      F2/512 InGaAs/鎢-鹵素光源

      100 nm-200 mm
      VISNIR400-1700 nm分光儀 F4 Si CCD 3600 像素點

      (Vischannel);傳輸光譜儀(TVG)

      F2/512 InGaAs

      PDA( NIR channel) 鎢-鹵素光源

      15 nm to 200 mm
      UVVISNIR200 -1700 nm分光儀F4 Si CCD 3600

      像素點(Vis頻道);傳輸

      氘-鎢鹵組合式光源

      3 nm -200 mm
      NIRScan900nm -5000nm掃描分光計/InGaAs/

      MCT 探測器 (掃描時間 <60 秒 )

      TH-SiN光源

      100 nm -800 mm
      XTXT 1590nm -1650nm傳輸光譜儀 (TVG)

      F2/512 InGaAs/鎢 -鹵素光源

      10 mm- 1 mm

      * T, n & k 測量的厚度范圍為25nm – 5um

      其他配置也是可以做到,歡迎原始設備制造商咨詢和定制開發項目。

      對所有系統中的配件有一年的質量保證。

      產品咨詢

      Semiconsoft MProbe薄膜測厚儀

      廣州市固潤光電科技有限公司

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