M F C - E 系 列 質 量 流 量 控 制 器（ M a s s Flow Controller）是一款專為氣體分析儀、質 譜 儀、配 氣 儀 等 行 業 所 開 發 的 一 款 高 精 度、低 溫 漂 、高 可 靠 性 的 氣 體 質 量 流 量 控 制 器 產品 。該 產 品 配 備 有 高 精 度 流 量 傳 感 器、高 端 電 磁 比 例 閥 、3 1 6 L 不 銹 鋼 氣 路 座 等，具 有 精 度高 、響 應 速 度 快 、穩 定 性 好 等 優 點 。操 作 使 用方 便 , 無 需 溫 度 補 償，壓 力 不 敏 感 。輸 出 和 控 制 信 號 包 含 ：0 - 5 V 模 擬 信 號 和 R S 4 8 5 數 字 通 信 方 式。