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      SimulTek原子氧源-原子氧測試

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      SimulTek 原子氧源

      采用激光轟擊氧分子,形成中性氧原子束流,性能如下:

      1. 原子氧能量:4~7eV

      2. 原子氧束流通量大于5.0×1015 atoms/cm2/s

      3. 原子氧純度大于95%

      4. 束流均勻性優于90%

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