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      EWave®雙極脈衝直流電系列
      
				
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
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      E'Wave® 雙極脈衝直流電系列
        				Advanced Energy 的 E'Wave® 雙極脈衝直流電源改善了表面均勻性，減少了雙鑲嵌製程流程 (dual-damascene process flow， DDPF) 應用的鍍銅階段之附加消耗，包括在生產環境和銅製程開發中的晶圓電鍍。E'Wave 電源提供多達三個通道，每個都有一個獨立驅動的雙極電源，能夠生成、儲存和運行多達15個由電流控制或由電壓控制的波形。
      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      EWave®雙極脈衝直流電系列
      
						
      
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      EWave®雙極脈衝直流電系列 - 1132
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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