技術參數：

真空腔主要技術參數：

腔體漏率小于2×10-10atm cc/sec

小于0.5%端口對準誤差

玻璃球拋光

7步清洗過程

可選配置

MU金屬內層作為磁屏蔽罩

不銹鋼內層，用于沉積系統

電鍍拋光

水冷

低溫保持器隔熱罩

主要特點：

Johnsen Ultravac公司的超高真空腔有很多種配置，可以提供適合用戶各種特殊要求和性能的腔體。

Johnsen Ultravac公司生產的超高真空腔體性能優異。在腔體的制造過程中，JUV的工程師們特別重視消除任何可能的漏氣現象，腔體的真空度都能好于10-11Torr。每一個端口都經過精心的校準，確保它們能夠準確的裝載各種配件。在進行切削加工時，特別注意避免腔體遭到各種材料的污染；在完成切削后，所有的部分會被仔細清洗，并在超凈間中進行焊接；*后，在完成端口位置的再一次確認后，超高真空腔體才會進行*后的清理與包裝