產品介紹：

可放置8時、12時硅襯底，用于生長硅基半導體用器件

適用機型：

Epsilon 2000 等同系列機臺

產品參數：

基材：等靜壓石墨(純度 >6N)
涂層：β-SiC(厚度=100±10 μm)
特點：致密度高，耐高溫耐腐蝕，涂層結合力強

使用壽命：和進口同款產品相當

湖南聯合半導體科技有限公司
· 公司成立于 2021年
· 主要產品:石墨、SiC和TaC涂層石墨成品
· 包含研發、生產、銷售和服務,
· 為半導體和LED行業提供零部件。