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      >全自動雙軸晶圓切割機-TS1261

      全自動雙軸晶圓切割機-TS1261

      全自動雙軸晶圓切割機-TS1261

      直接聯系

      博磊精密設備(蘇州)有限公司

      江蘇

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      博磊精密

      型號:

      全自動雙軸晶圓切割機-TS1261

      關注度:

      530

      產品介紹

      直觀式的操作輔助操作者

      通過LCD觸控面板,可以在使用顯微鏡畫面的同時進行校準和教學等操作。此外,通過機臺狀態的圖表和MTBA(機臺平均停機處理時間)的顯示,操作人員可以以圖像化的方式了解機臺的運行狀況。在發生異常時,屏幕上會提供處理指示,輔助進行故障排除操作。

      抑制微粒粉塵的選項

      切割部分的二流體噴嘴。

      旋轉部分的二流體噴嘴。

      工作盤的水簾,防止微粒干燥導致硬化。

      強抽風管(主軸)。

      保養區域的縮減

      所有的日常操作和保養都可以從正面進行。當需要并排放置多臺機臺時,由于減少了側面的維護空間,相比之前的TS1260型號,現在可以放置6臺TS1261型號的機臺,而不是只能放置4臺。

      工作物切割加工流程

      夾具將工作物從儲料盒中取出,送到預校準臺。

      在預校準臺進行中心定位后,下臂將工作物移到工作盤。

      進行切割加工。

      上臂將工作物移到離心清洗臺。

      進行清洗和干燥。

      下臂將工作物送到預校準臺。

      夾具將工作物送回儲料盒中。

      標配功能

      自動刀痕校正(Auto Kerf Check)。

      非接觸式刀高測量(NCS,Non-Contact Setup)。

      刀片斷裂檢測(Blade Broken Detector)。

      二流體噴嘴。

      選配功能

      硬件:在線磨刀(ln-line Dressing),微塵加強清潔(Class 100),激光刀痕對準(Laser Kerf Alignment,特殊CCD),CO2機(外掛),藥液混合設備(外掛)。

      軟件:激光刀痕對準(Laser Kerf Alignment),SECS/GEM,其他定制化軟件功能。

      規格

      單位

      TS1261

      (1.2/1.8/2.4Kw)

      **工作范圍

      mm

      Φ300/Φ200

      X-axis

      Cutting range

      mm

      310/210

      Cutting speed

      mm/sec

      0.1-1,000

       

      Y1、Y2-axis

      Cutting range

      mm

      310

      Index step

      mm

      0.0001

      Index positioning accuracy

      mm

      0.003/310

      mm

      0.002/5(Single error)

       

      Z-axis

      Max. stroke

      mm

      14.2(Forφ2”blade)

      Moving resolution

      mm

      0.0000003(24bit)

      Repeatability accuracy

      mm

      0.001

      ?-axis

      Max. rotating angle

      deg

      380

      Spindle

      Rated torque

      N.m

      0.27

      Revolution speed range

      rpm

      6,000-60,000

      Machine dimensions (W x D x H)

      mm

      1,250 x 1,600 x 1,890

      Machine weight

      kg

      2,150


      產品咨詢

      全自動雙軸晶圓切割機-TS1261

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      博磊精密設備(蘇州)有限公司

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