產(chǎn)品簡介

該系列設(shè)備是為批量化加工而設(shè)計，采用上下盤和內(nèi)外環(huán)獨立驅(qū)動，具有緩速加壓功能，可滿足批量化加工薄脆產(chǎn)品，實現(xiàn)高精度TTV、可控制程序等功能。實現(xiàn)半導(dǎo)體襯底材料的批量雙面研磨、拋光。

特點
● 獨立4驅(qū)
- 任意選擇加工方式
- 便于修正盤型
● 內(nèi)部水冷卻結(jié)構(gòu)(CMP)
- 精準(zhǔn)控制盤型
● 鑄造基體
- 結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，低震動，高穩(wěn)定性
● 雙面車刀裝置(DMP)
- 自修自面，確保上下大盤**平坦度
- 節(jié)省時間，可快速調(diào)節(jié)車刀角度
● 壓力監(jiān)測控制系統(tǒng)
- 為薄脆片加工提供適當(dāng)?shù)膲毫刂?br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;"/>-循環(huán)階段階梯式壓力控制

規(guī)格