適用于2寸、3寸、4寸、6寸、8寸等多種尺寸晶圓的純化學(xué)拋光

夾具可選擇搭配不同重量的配重塊，適用于不同材料的拋光工藝需求

拋光后粗糙度變化值ΔRa≤±2nm

夾板、夾具、偏心距等可根據(jù)客戶需求訂制

機(jī)身小巧，方便拆裝

配備遠(yuǎn)程操作系統(tǒng)

幾乎為零的機(jī)械作用力實(shí)現(xiàn)無橘皮無劃痕效應(yīng)

采用先進(jìn)防腐材料和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，達(dá)整機(jī)超強(qiáng)防腐