產品簡述

• 我公司生產的減薄砂輪可替代進口產品，在國內外磨床上穩定使用，砂輪磨削性能優越。

• 指標：規格

• 輪體尺寸：OD(200/250/300mm)

• 粘合劑：陶瓷

• 型號目數：2000#/8000#/30000#

• 磨損比： 0.1 /0.5 /0.8

• 加工表面粗糙度：＜15nm /＜3nm /＜0.8nm

• 齒表面形貌：25x3.5x6mm（長方體狀）

產品概述

我公司生產的碳化硅晶圓減薄砂輪可替代進口產品，在國內外磨床上穩定使用，砂輪磨削性能優越。

應用領域

加工對象：碳化硅襯底、外延、封裝前背減
通過各種結合劑與不同顆粒大小的組合，實現晶圓超薄磨削加工的穩定性。
在工藝上滿足同等原設備加工效率以及同樣產品質量情況下壽命與進口產品相當。

產品特點

粗研削加工:
加工時，穩定性好，電流低，砂輪損耗小。磨出產品紋理均勻，Ra小于15nm;

精研削加工:
通過特殊的陶瓷結合劑及先進的制造工藝研發的砂輪塊，磨削一致性好。在產品磨削到鏡面后，仍能持續穩定地繼續磨削，Ra小于1nm.可以直接氧化硅精拋，省一道氧化鋁粗拋。

產品規格及驗證參數