Gatan SmartEMIC 電子束感應電流測量系統

        產品綜合介紹：

        產品功能介紹

        EBIC分析系統，可以實時軟件控制全自動采集電子束感生電流（EBIC）信號，獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息，*終可以測試PN結位置，寬度，少子擴散長度，材料或器件的失效點定位，廣泛應用于電子半導體領域。

        品牌介紹

        美國GATAN公司成立于1964年并于70年代末進入中國市場。GATAN公司以其產品的高性能及技術的先進性在全球電鏡界享有極高聲譽。

        作為****的設計和制造用于增強和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商，其產品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產品應用范圍包括材料科學、生命科學、地球物理學、電子學，能源科學等領域， 客戶范圍涵蓋全球的科研院所，高校，各類檢測機構及大型工業企業實驗室，并且在國際科學研究領域得到了廣泛認同。

        經銷商介紹

        歐波同有限公司是中國**的微納米技術服務供應商，是一家以外資企業作為投資背景的高新技術企業，總部位于香港，分別在北京、上海、遼寧、山東等地設有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設備及附屬分析設備在中國地區重要的戰略合作伙伴，公司秉承“打造國內影響力的儀器銷售品牌”的經營理念，與蔡司，GATAN品牌強強聯合，正在為數以萬計的中國用戶提供高品質的產品與國際尖端技術服務。

        產品系統特點：

        高性能、地噪聲EBIC系統，進行定量EBIC測量。界面友好的智能分析軟件運行于DigitalMicrograph軟件平臺。

        用于SEM的SmartEBIC 系統包括：

        ?計算機控制的、充電電池供電的EBIC放大器

        ?高級EBIC樣品座(ASH)，并配有可調節的鎢探針以進行臺式接觸。配以適當的Gatan適配器還可以通過空氣鎖來裝載試樣*

        ? 與SEM樣品臺接口

        ?鏈接插座及4個BNC型的電纜鏈接，低噪聲這空饋通，適于EBIC和電子束流的測量

        ?具有Fireware技術的DigiScan II數字電子束控制系統。它包括兩個模擬輸入，可同時采集攝影質量的圖像，并可靈活控制像素強度、每點駐留時間、掃描旋轉等。對于某些SEM，它還可以通過軟件通訊SEM的操作參數。

        ?配有先進的SmartEBIC應用插件的Digital Micrography軟件，以進行定量測量、線性輪廓的實時和后處理分析

        產品主要技術參數：

        SmartEBIC可以對EBIC信號進行自動控制采集和定量分析:

        掃描控制系統:

  1、1-, 2- or 4-比特數據采集提供了超大的動態范圍

  2、從 16 x 1 至 8000 x 8000 像素掃描分辨率

  3、電子束停留時間，在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之間可調

  4、自動調節圖像顯示大小，使得EBIC實驗過程變得更方便

*5、配置Digi-Scan控制器，實時軟件控制全自動采集，可以在EBIC信號的采集時就對信號進行定量分析，無需附加的后處理，

*6、不僅獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息。

        噪音控制:

  1. 特別設計的EBIC附屬樣品臺

  2. 同軸繞線方式

  3. 可重復使用的鉛酸電池 (15小時續航時間)

  4. 可以改變放大器的增益，從而**化數據采集的信噪比和帶寬

  5. 兩種可選的一階RC濾波器 ，低通或高通濾波

  6. 低漂移放大模式

  7. 在與PC通訊的時間以外，系統的微處理器會自動切換到睡眠狀態

  8. 豐富的圖像處理工具。包含銳化工具、平滑工具和傅立葉變換工具等。  

  9. 可以適配與Lock-in技術（本系統并不提供，這樣的配置系統將不會對EBIC信號定量分析）

        追蹤:

        通過軟件實現。在12bit（1.22mV）采集分辨率模時為+/-5V。

        自動化:

        即使在放大器參數設定欠佳的條件下，系統也能自動優化圖像的顯示大小，從而提供更方便的圖像瀏覽

        可以對放大器的偏移/增益進行自動設置

        軟件:

        流程式一維擴散長度測量

        廣泛的面掃/線掃描分析工具，包括數學分析工具，濾波應用等

        廣泛的圖像顯示方案選項，包括二次電子圖像與EBIC圖像的疊加

        編程語言可助您為自己的實驗編寫定制化軟件

        產品主要應用領域：

        測試PN結位置，寬度，少子擴散長度金屬材料

        材料或器件的失效點定位

        測試半導體材料的位錯密度

        IV特性測試

        應用實例：

        應用一：測試PN結位置，寬度，少子擴散長度

應用二：材料或器件的失效點定位

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