X射線熒光光譜儀(XRF是一種射線式分析儀器，是X射線分儀器的一種常用形式。能分析原子序數 12~ 92的所有元素，選擇性高，分析微量組分時受基體的影響小，在地質、采礦和治金等部門應用很廣.

X射線是一種電磁輻射，其波長介于紫外線和射線之間。它的波長沒有一個嚴格的界限，一般來說是指波長為0.001-50nm的電磁射，X時線是用高速電了轟擊原子的內層電子，使之處于高激發狀態，同時外層的電子躍遷到缺少電子的內層軌道，在此過程中會伴隨著以電磁波形式釋放的能量，這種釋放能量的電磁波能量大，波長小，肉眼不可見，稱之為X射線

如果用高速電子激發產生的義射線又作為激發源何稱之為一次義射)去未別的原子的內層電子，同樣可產生X時線，只是這種X時線的自影量較一次X時經低，波長也較長，這種射線稱為二次從射線或射線英光、熒光X射線，X射線熒光的波長是以受激物質(待測物質)的原子房數為特征的，原子房數越大的物質波長越短，各種不同的元素都有本身的特征X射線熒光波長，這是用X射線熒光原理的X射線熒光光譜儀進行定性分析的依據,而元素受激發射出來的特征X射線熒光的強度則取決于該元素的含量，這是定量分析的依據。