SF6氣體已有百年歷史，1900年法國兩位化學家Moissan和Lebeau人造合成的惰性氣體，1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃。1947年轉變為商用。目前SF6氣體主要用于電子產業或工業用途。SF6氣體用于4種類型的電氣設備作為絕緣和/或滅弧；SF6斷路器及GIS（在這里指六氟化硫封閉式組合電器，國際上稱為“氣體絕緣開關設備”（Gas Insulated Switchgear)）、SF6負荷開關設備，SF6絕緣輸電管線，SF6變壓器及SF6絕緣變電站。80%用于高中壓電力設備。