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      >六氟乙烷(C2F6)

      六氟乙烷(C2F6)

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      艾佩科(上海)氣體有限公司

      上海

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      面議

      品牌:

      艾佩科

      型號:

      六氟乙烷(C2F6)

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      產品介紹

      六氟乙烷(C2F6)


      化學式C2F6
      中文名稱六氟乙烷
      英文名稱Hexafluoroethane
      CAS No.76-16-4
      分子量138
      充裝系數1.06kg/L  (氣瓶公稱工作壓力12.5MPa) 
      應用在等離子工藝中作為二氧化硅和磷硅玻璃的干蝕氣體。可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。亦可用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑。


      六氟乙烷(hexafluoroethane),又稱全氟乙烷,是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產物,是鹵代烴,亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,難溶于水,微溶于醇。

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      六氟乙烷(C2F6)

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