公斤級硅負極（硅碳、硅氧碳）cvd爐

適用物料：納米硅、硅氧（氧化亞硅）、多孔硅

使用工況：CVD氣相沉積碳包覆（一次包覆、二次包覆）

均勻包覆碳含量：1.6%-22%（可控可調）

適用氣體：氮氣、氬氣、甲烷、乙炔、氨氣（丙酮、苯、乙醇、瀝青等）

公司備有多臺公斤級、百公斤級硅負極用cvd爐系統供客戶實驗用，公司目前已完成300+批次的硅負極cvd實驗，通過客戶反饋實驗數據不斷優化cvd爐的設計。通過大量積累了豐富的cvd經驗。