粉體行業(yè)在線展覽
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粉體行業(yè)在線展覽
擴(kuò)散氧化爐（科研型）
直接聯(lián)系
湖南艾科威半導(dǎo)體裝備有限公司
湖南
面議
艾科威
擴(kuò)散氧化爐（科研型）
1320
技術(shù)指標(biāo)
●適用晶片尺寸 ： 2~8英寸圓片
●工作溫度： 600℃～1300℃；
●可配工藝管數(shù)量：1~2管/臺(tái)
●恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：≤±0.5℃/300~600mm （800℃～1300℃），
● 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：≤±0.5℃℃ /24h （1100℃）；
●溫度斜變能力：**升溫速率20℃/min，**降溫速率5℃/min；
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擴(kuò)散氧化爐（科研型）
湖南艾科威半導(dǎo)體裝備有限公司請(qǐng)?zhí)顚懩男彰?
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