真空爐一般由爐體、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼-般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻絲、硅碳棒、硅鉬棒、感應(yīng)線圈、電較和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機(jī)械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計(jì)等組成。

主要用于:冷熱作模具鋼、高速鋼、彈性合金、高溫合金、不銹鋼、鈦合金、磁性材料等材料的真空熱處理。

真空淬火: (回火、 退火)就是通過把材料或零件在真空狀態(tài)下按工藝規(guī)程加熱、冷卻來達(dá)到預(yù)期性能的一種處理方法。

真空釬焊:即在真空狀態(tài)下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點(diǎn)溫度以上,但低于基體金屬熔點(diǎn)溫度,借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和流動形成焊縫的一種焊接工藝(釬焊溫度因材料不同而異)。

真空燒結(jié):即在真空狀態(tài)下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過粘著和擴(kuò)散作用而燒結(jié)成零件的一種方法。

真空加磁:主要適用于金屬材料加磁處理。