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真空氣相沉積爐

HVCVD

直接聯(lián)系

上海哈騰電爐設(shè)備有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

型號：

HVCVD

關(guān)注度：

3694

范圍（量程或細(xì)度）：

應(yīng)用行業(yè)：

本設(shè)備主要用于碳素制品的化學(xué)氣相沉積增密處理，或以碳?xì)錃怏w為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理及碳?xì)种破氛婵仗蓟錈崽幚怼?/p>

產(chǎn)品介紹

設(shè)備用途

設(shè)備特點

        1. 雙層SUS304爐體結(jié)構(gòu)，中間通以冷卻水，有效降低爐體表面溫度，減少高溫傷害，降低對環(huán)境的影響；
        2. 采用先進(jìn)的保溫材料及隔熱結(jié)構(gòu)，導(dǎo)熱系數(shù)低，保溫效果好，即使在很高的溫度下也能有效隔絕熱量，節(jié)約能耗；
        3. 能夠準(zhǔn)確控制氣體流量和壓力，通過特殊的導(dǎo)氣結(jié)構(gòu)和裝置，大大提高產(chǎn)品的合格率，降低沉積時間；
        4. 通過特殊的過濾裝置，使其熱解過程的碳粉幾乎完全過濾，不進(jìn)入真空機(jī)組，大大延長了真空機(jī)組的使用壽命；
        5. 人性化配置，既可以手動操作，也可以實現(xiàn)一鍵智能操作；
        6. 型式多樣化，立式上開門、立式底升式、臥式側(cè)開門，任意選擇；
        7. 本產(chǎn)品接受非標(biāo)定制。

設(shè)備參數(shù)

型號	工作區(qū)尺寸 D×H	**溫度 ℃	溫度均勻性 ℃	冷態(tài)極限真空度 Pa	壓升率 Pa/h	加熱功率 Kw
HVCVD-2030	Φ200×300	1500	±5	50	3	25
HVCVD-2540	Φ250×400	1500	±5	50	3	40
HVCVD-3050	Φ300×500	1500	±5	50	3	55
注：以上技術(shù)參數(shù)可根據(jù)工藝進(jìn)行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

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真空氣相沉積爐

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