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      快速退火爐

      CVD

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      上海哈騰電爐設(shè)備有限公司

      上海

      產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
      參考報(bào)價(jià):

      面議

      型號(hào):

      CVD

      關(guān)注度:

      3556

      范圍(量程或細(xì)度):

      --

      產(chǎn)品介紹

      1. 設(shè)備特點(diǎn)


              1. 升降溫速度快,升溫采用環(huán)形紅外短波加熱器,*快升溫速率可達(dá)200℃/s,降溫時(shí)通過將爐膛退出,實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品的快速降溫;
              2. 測溫采用精準(zhǔn)的S型金屬熱電偶直接測量產(chǎn)品表面,使加熱工件的溫度更加準(zhǔn)確;
              3. 控制數(shù)學(xué)控制數(shù)學(xué)模型采用先進(jìn)的PID自學(xué)習(xí)模糊雙閉環(huán)控制模式,使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態(tài)仍能保持在±3℃;
              4. 功能多樣化,既可以用于材料的快速升降溫退火,也可用于化學(xué)氣相沉積(CVD)法,在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備。


         

      1. 設(shè)備參數(shù)

      電源

      AC380~400V,50HZ(60Hz定制)

      **功率

      15Kw

      額定溫度

      1100℃

      使用溫度

      ≤1000℃

      反應(yīng)腔室尺寸

      Φ100X200

      溫場均勻性

      ±3℃

      溫度控制模式

      智能模糊全閉環(huán)PID控制

      傳感器內(nèi)型

      S型單鉑銠

      *快升溫速率

      200℃/s

      降溫速率

      1~200℃/s(通氮?dú)?,速率更快?/p>

      操作方式

      觸摸屏控制

      真空系統(tǒng)

      選配

      進(jìn)出氣接口

      Φ6卡套

      本產(chǎn)品接受非標(biāo)定制


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