1. 設備特點

        1. 高真空系統由雙級旋片真空泵和分子泵組成，**真空可達10-4Pa；
        2. 可配合壓強控制儀控制氣體壓力，實現負壓的精準控制；
        3. 數字質量流量控制系統是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現氣體的流量的精密測量和控制；
        4. 每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統的安全性和連續均勻性；
        5. 采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；
        6. 管路采用世界**Swagelok卡套連接，不漏氣；
        7. 超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計進氣，使用安全可靠；
        8. PECVD借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，更容易發生反應。

1. 設備參數