粉體行業在線展覽
<abbr id="epdyr"></abbr>
粉體行業在線展覽
HPSF-4412
直接聯系
湖南頂立科技股份有限公司
湖南
面議
頂立科技
HPSF-4412
17643
--
氮化硅壓力燒結爐（臥式）
產品描述：
氮化硅壓力燒結爐（臥式）主要用于半導體領域氮化硅陶瓷制品的真空燒結和氣壓燒結等。
應用范圍：
氮化硅陶瓷球、軸承、導熱基板、平臺、導軌、刀具、結構件等。
采用特殊的爐膽結構和加熱器布置，爐溫均勻性好；
全密閉馬弗，密封效果好，抗污染能力強；
可具備真空燒結、壓力燒結、負壓脫脂燒結等功能；
具有超溫超壓等故障報警，機械式自動壓力保護，動作互鎖等功能，設備安全性高；
可選配脫脂系統，實現陶瓷制品的脫脂燒結一次性處理；
適于工藝氣氛：N2/Ar/H2。
| 型號/參數 | HPSF-4412 | HPSF-5518 | HPSF-6615 | HPSF-6618 | HPSF-9915 |
| 工作區尺寸 W×H×L（mm） | 400×400×1200 | 500×500×1200 | 500×500×1800 | 600×600×1800 | 900×900×1500 |
| **溫度（℃） | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| **壓力（MPa） | 10 | ＜10 | ＜10 | ＜10 | ＜10 |
以上參數可根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據，具體以技術方案和協議為準。
結構形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼/Q345
保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質：石墨/CFC
熱電偶：K/N/C/S分度號（鎢套管/陶瓷套管）
