儀器簡介：

JSM-6510掃描電子顯微鏡

JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統合于一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統的電腦控制，操作員只用一只鼠標，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。

操作窗口

直觀的操作界面的設計，簡明易懂便于迅速掌握操作。

支持多用戶

單個用戶可以根據常用功能設置相應的圖標，營造快捷的操作環境。用戶登錄時，即可加載已注冊過的設定。

同時顯示兩幅圖像

畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像。可同時觀察樣品的形貌和組成分布。

微細結構測量

適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像，保存在文件中。

標準的全對中樣品臺，能收錄三維照片

3D Sight（選配件），能夠進行平面測量和高度測量，實現立體俯視圖。

從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍

分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監視器，一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。

維護簡便

工廠預置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長期保持穩定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。

可信賴的真空系統

真空系統使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態。擴散泵內部無活動部件，體現了操作穩定，維護簡便的特色。

JSM-6510規格
保證分辨率	3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV）
放大倍數	5至300，000x
加速電壓	0.5kV至30kV
電子槍	工廠預對中燈絲
聚光鏡	變焦聚光鏡
物鏡	錐形物鏡
樣品臺	全對中樣品臺
X-Y	80mm-40mm
Z	5mm至48mm
旋轉	360°
傾斜	－10°至＋90°
排氣系統 （高真空模式）	DPx1，RPx1
排氣系統 （低真空模式）	DPx1，RPx2

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